真空压力传感器的工作原理是什么？

真空压力传感器的工作原理是基于多种原理的。

一种常见原理是“弹性变形”，即内部薄膜受到进气道真空压力时被压迫变形，膜片上的金属或碳粉电极间产生随压力增加而增加的电压，用于控制燃油和空气混合比例。

还有一种是介质压力直接作用在传感器膜片上，使膜片产生微位移，导致传感器电阻变化，电子线路检测并转换输出对应标准信号。

像热阴极离子化真空传感器，通过加热阴极使气体分子电离产生电子，测量电子漂移速度确定压力，精度高、响应快，适用于广泛真空范围。

热阴极电离真空传感器通过加热阴极使气体分子电离形成离子云，测量离子云电流确定压力，对气体种类依赖小。

电容真空传感器利用电极间电容随压力变化来测量，灵敏度和稳定性高。

热导真空传感器将热丝暴露在真空环境，根据热丝受气体分子散热影响的温度变化推导出压力，稳定性和长期可靠性好，适用于高真空环境。

不同应用领域对真空环境要求不同，要选择适合的传感器类型和规格，还需与数据采集或控制系统配合，实现对真空环境的精确监测和控制。

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